Obxectivo rotativo metálico
Os campos magnéticos e eléctricos ortogonais aplícanse entre o obxectivo de pulverización catódica (cátodo) e o ánodo.E enche o gas inerte necesario (normalmente gas Ar) na cámara de alto baleiro.Baixo a acción dun campo eléctrico, o gas Ar ionízase en ións positivos e electróns.Aplícase unha certa alta tensión negativa ao obxectivo, os electróns emitidos polo obxectivo vense afectados polo campo magnético, a probabilidade de ionización do gas de traballo aumenta, fórmase un plasma de alta densidade preto do cátodo e os ións de Ar vense afectados. pola forza de Lorentz.A continuación, acelere para voar ata a superficie do obxectivo e bombardea a superficie do obxectivo a alta velocidade, de xeito que os átomos pulverizados no obxectivo seguen o principio da conversión do momento, voan desde a superficie do obxectivo ao substrato e depositan unha película de alta enerxía cinética.
Para mellorar aínda máis a taxa de utilización do material obxectivo, deséñase un cátodo rotativo con maior eficiencia de uso e úsase un material obxectivo tubular para o revestimento de pulverización catódica.A mellora do equipo de pulverización esixe que o obxectivo se cambie dunha forma plana a unha forma tubular, e a taxa de utilización do obxectivo rotativo tubular pode chegar ao 70%, o que resolve en gran medida o problema da baixa utilización do obxectivo plano.
Nome do produto | Obxectivo rotativo metálico |
Material | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Tamaño de venda quente | ID-133/OD-157 x 3191 mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Tamén se pode procesar segundo os requisitos específicos dos clientes |
MOQ | 3 pezas |
Paquete | Caixa de madeira Ply |
Aplicación
O revestimento por pulverización catódica é un novo tipo de método de revestimento físico de vapor.En comparación co método de revestimento por evaporación, ten vantaxes obvias
en moitos aspectos.Os obxectivos de pulverización catódica metálicas utilizáronse en moitos campos.A principal aplicación do obxectivo rotativo.
■Células solares
■Vidro arquitectónico
■Vidro automático
■Semicondutor
■TV de pantalla plana, etc
Información do pedido
As consultas e pedidos deben incluír a seguinte información:
☑Especificación do obxectivo ID×OD×L (mm).
☑Cantidade necesaria.
☑Póñase en contacto connosco para necesidades máis especiais.