O método de evaporación do feixe de electróns é unha especie de revestimento de evaporación ao baleiro, que utiliza feixes de electróns para quentar directamente o material de evaporación en condicións de baleiro, vaporizar o material de evaporación e transportalo ao substrato e condensalo sobre o substrato para formar unha película delgada.No dispositivo de calefacción por feixe de electróns, a substancia quente colócase nun crisol arrefriado por auga, o que pode evitar a reacción entre o material de evaporación e a parede do crisol e afectar a calidade da película.No dispositivo pódense colocar varios crisols para conseguir a evaporación e a deposición simultánea ou separada de varias substancias.Coa evaporación do feixe de electróns, calquera material pode ser evaporado.
A evaporación do feixe de electróns pode evaporar materiais de alto punto de fusión.En comparación coa evaporación de calefacción de resistencia xeral, ten unha maior eficiencia térmica, unha maior densidade de corrente do feixe e unha velocidade de evaporación máis rápida.Película e película de diversos materiais ópticos como o vidro condutor.
A característica da evaporación do feixe de electróns é que non cobre ou raramente cobre os dous lados da estrutura tridimensional obxectivo, e normalmente só se deposita na superficie do obxectivo.Esta é a diferenza entre a evaporación do feixe de electróns e a pulverización catódica.
A evaporación do feixe de electróns úsase habitualmente no campo da investigación e da industria de semicondutores.A enerxía de electróns acelerada utilízase para golpear o obxectivo material, facendo que o obxectivo material se evapore e se eleve.Finalmente depositouse no obxectivo.
Hora de publicación: Dec-02-2022